▶ 轮廓仪系列
轮廓仪系列
型号 |
FV4000 |
CV4000 |
CV3000 |
一、轮廓测量 |
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(1)X轴 |
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测量范围 |
0~200mm |
0~200mm |
0~200mm |
示值误差 |
±(0.8+2L/100)μm,其中L为水平测量长度,单位:mm |
±(0.8+2L/100)μm,其中L为水平测量长度,单位:mm |
±(1.2+2L/100)μm,其中L为水平测量长度,单位:mm |
分辨率 |
0.01μm |
0.01μm |
0.01μm |
直线度 |
2μm/200mm |
2μm/200mm |
2μm/200mm |
测量速度 |
0.1~5mm/s; |
0.1~5mm/s; |
0.1~5mm/s; |
移动速度 |
0~30mm/s |
0~30mm/s |
0~80mm/s |
(2)传感器Z1轴 |
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测量范围 |
±25mm |
±25mm |
±25mm |
示值误差 |
±(1.6+|2H|/100)μm,其中H为垂直测量高度,单位:mm |
±(1.6+|2H|/40)μm,其中H为垂直测量高度,单位:mm |
±(2+|2H|/40)μm,其中H为垂直测量高度,单位:mm |
分辨率 |
0.01μm |
0.01μm |
0.01μm |
(3)Z轴 |
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测量范围 |
0~450mm |
0~450mm |
0~450mm |
移动速度 |
0~30mm/s |
0~30mm/s |
0~30mm/s |
(4)测量力 |
10~150mN |
10~150mN |
10~150mN |
(5)爬坡能力 |
上坡77º,下坡83º |
上坡77º,下坡83º |
上坡77º,下坡83º |
(6)工作台 |
旋转角度:360º,X、Y 移动 :15mm |
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仪器尺寸 |
花岗岩平板(800×450×100)mm 整机:(850×500×1100)mm 仪器重量:150Kg |
花岗岩平板(800×450×100)mm 整机:(800×500×1000)mm 仪器重量:120Kg |
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使用环境 |
无强磁场,无振动,无腐蚀气体; 工作温度: 20℃ ±2℃ ; 相对湿度:40-60% |
二、粗糙度测量 FV4000 |
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基本参数 |
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测量范围 |
X轴200mm,Z1轴±80μm / ±40μm / ±20μm |
直线度误差 |
≦0.15μm/20μm,≦0.15μm/200μm |
示值误差 |
±5% |
分辨率 |
Z1轴0.04μm(±80μm), 0.02μm(±40μm), 0.01μm(±20μm) |
测量速购 |
0.5mm/s和0.1mm/s可调 |
硬件结构 |
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测针 |
标准型( 高度小于8mm)1 支, 触针半径 2μm,静态测力0.75mN |
大理石平台 |
尺寸≥ (800*450)mm |
电动立柱 |
高度≥ 450mm |
滤波器 |
高斯滤波器、RC 滤波器、相位修正滤波器 滤波波段可选择,也可任意设定 支持自动选择符合标准的过滤方式和取样 长度度: 0.5 mm/s 和0.1 mm/s 可调 |
内置的粗糙度数据库标准
参数分类 |
评定参数 |
R 粗糙度参数 |
Ra、Rq、 Rz、Rmax、Rpc、Rz-JIS、Rt、Rp、Rv、 R3z、RSm、Rs、Rsk、Rku、 Rdq、Rlq、Rdc、RHSC、 Rmr、Rz-L、Rp-L、R3z-L、Rdc-L、RMr-L、 Pdc-L、PMr-L |
核心粗糙度 |
Rk、Rpk、Rvk、Rpkx、Rvkx、Mr1、Mr2、A1、A2、Vo |
P 轮廓参数 |
Pa、Pq、Pt、Pp、Pv、PSm、Psk、Pku、Pdq、Plq、 Pdc、PHSC、PPc、PMr |
W 波纹度轮廓参数 |
Wa、Wq、Wt、Wp、Wv、WSm、Wsk、Wku、Wdg、 Wdc、WMr |
Motif 参数 |
R、Ar、W、Aw、Rx、Wx、Wte、Nr、Ncrx、Nw、 Cpm、CR、CF、CL |