▶ 三次元桥式移动型Micro系列
Cost-effective, Highly Efficient
Micro系列技术参数
三轴重复性0.25um
Type |
Micro686 |
Micro8106 |
MPEe(μm) |
1.2+L/400 |
1.5+L/400 |
MPEp(μm) |
1.2μ |
1.5μ |
量测范围(mm) (Dx*Dy*Dz) |
600x800x600 |
800x1000x600 |
外形尺寸(mm) (Lx*Ly*Lz) |
1392x1889x2626 |
1592x2089x2626 |
平台尺寸(mm) (Px*Py*Pz) |
762x1500x631 |
962x1700x631 |
承重(Kg) |
1000 |
1200 |