▶ 輪廓儀系列
輪廓儀系列
型號 |
FV4000 |
CV4000 |
CV3000 |
一、輪廓測量 |
|||
(1)X軸 |
|||
測量範圍 |
0~200mm |
0~200mm |
0~200mm |
示值誤差 |
±(0.8+2L/100)μm,其中L為水準測量長度,單位:mm |
±(0.8+2L/100)μm,其中L為水準測量長度,單位:mm |
±(1.2+2L/100)μm,其中L為水準測量長度,單位:mm |
解析度 |
0.01μm |
0.01μm |
0.01μm |
直線度 |
2μm/200mm |
2μm/200mm |
2μm/200mm |
測量速度 |
0.1~5mm/s; |
0.1~5mm/s; |
0.1~5mm/s; |
移動速度 |
0~30mm/s |
0~30mm/s |
0~80mm/s |
(2)感測器Z1軸 |
|||
測量範圍 |
±25mm |
±25mm |
±25mm |
示值誤差 |
±(1.6+|2H|/100)μm,其中H為垂直測量高度,單位:mm |
±(1.6+|2H|/40)μm,其中H為垂直測量高度,單位:mm |
±(2+|2H|/40)μm,其中H為垂直測量高度,單位:mm |
解析度 |
0.01μm |
0.01μm |
0.01μm |
(3)Z軸 |
|||
測量範圍 |
0~450mm |
0~450mm |
0~450mm |
移動速度 |
0~30mm/s |
0~30mm/s |
0~30mm/s |
(4)测量力 |
10~150mN |
10~150mN |
10~150mN |
(5)爬坡能力 |
上坡77º,下坡83º |
上坡77º,下坡83º |
上坡77º,下坡83º |
(6)工作臺 |
旋轉角度:360º,X、Y 移動 :15mm |
||
儀器尺寸 |
花崗岩平板(800×450×100)mm 整機:(850×500×1100)mm 儀器重量:150Kg |
花崗岩平板(800×450×100)mm 整機:(800×500×1000)mm 儀器重量:120Kg |
|
使用環境 |
無強磁場,無振動,無腐蝕氣體; 工作溫度: 20℃ ±2℃ ; 相對濕度:40-60% |
二、粗糙度測量 FV4000 |
|
基本參數 |
|
測量範圍 |
X軸200mm,Z1軸±80μm / ±40μm / ±20μm |
直線度誤差 |
≦0.15μm/20μm,≦0.15μm/200μm |
示值誤差 |
±5% |
解析度 |
Z1軸0.04μm(±80μm), 0.02μm(±40μm), 0.01μm(±20μm) |
測量速購 |
0.5mm/s和0.1mm/s可調 |
硬體結構 |
|
測針 |
標準型( 高度小於8mm)1 支, 觸針半徑 2μm,靜態測力0.75mN |
大理石平臺 |
尺寸≥ (800*450)mm |
電動立柱 |
高度≥ 450mm |
濾波器 |
高斯濾波器、RC 濾波器、相位修正濾波器 濾波波段可選擇,也可任意設定 支援自動選擇符合標準的過濾方式和取樣 長度度: 0.5 mm/s 和0.1 mm/s 可調 |
內置的粗糙度資料庫標準 |
|
參數分類 |
評定參數 |
R 粗糙度參數 |
Ra、Rq、 Rz、Rmax、Rpc、Rz-JIS、Rt、Rp、Rv、 R3z、RSm、Rs、Rsk、Rku、 Rdq、Rlq、Rdc、RHSC、 Rmr、Rz-L、Rp-L、R3z-L、Rdc-L、RMr-L、 Pdc-L、PMr-L |
核心粗糙度 |
Rk、Rpk、Rvk、Rpkx、Rvkx、Mr1、Mr2、A1、A2、Vo |
P 輪廓參數 |
Pa、Pq、Pt、Pp、Pv、PSm、Psk、Pku、Pdq、Plq、 Pdc、PHSC、PPc、PMr |
W 波紋度輪廓參數 |
Wa、Wq、Wt、Wp、Wv、WSm、Wsk、Wku、Wdg、 Wdc、WMr |
Motif 參數 |
R、Ar、W、Aw、Rx、Wx、Wte、Nr、Ncrx、Nw、 Cpm、CR、CF、CL |